圧力センサ

圧力センサとは、気体や液体の圧力を、ダイヤフラムを介して感圧素子で計測し、電気信号に変換し、出力する部品です。絶対圧と大気圧を基準とするもの(負圧または正圧)、任意の圧力を基準とするもの(差圧)があります。測定対象(液体、気体、可燃性、腐食性)によってセンサを使い分けます。


シリコンダイアフラム型センサは大別して二種類あります。
  • ピエゾ抵抗拡散圧力センサ‐歪ゲージの電気抵抗の変化を、電圧変化として取り出して、圧力を検知します。電気抵抗の変化量はごく微小なので、ホイートストンブリッジという回路を利用し、高感度化を図ります。

  • 静電容量型圧力センサ-ピエゾ抵抗型と比較して、微圧の定格測定範囲においても高い感度が得られます。測定時における消費電力が小さく、出力特性はほとんど温度に依存しません。

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