MEMS (微小電気機械システム)発振器は、シリコン発振器とも呼ばれます。MEMSは、低消費電力と正確な周波数を兼ね備え、 標準的な発振器のドロップイン交換が可能です。また、従来の発振器に比べて広い温度と高い安定性を組み合わせて、kHzとMHz両方の発振器を実現します。
このデバイスは、振動や衝撃に対する耐性に優れ、温度変化に対して高い信頼性を発揮します。また、MEMS発振器は、ほとんどのシステムで一般的なEMI (電磁干渉)に対する感度が低くなっています。MEMSはプログラムされたデバイスであるため、非常に広範な周波数に対応できます
MEMSデバイスは、アクチュエータなどの機械要素、 センサ、シリコン基板上の電子部品で構成されています。