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圧力センサ

圧力センサは、液体や気体の圧力を測定するために用いられるセンサです。圧力センサは、感圧素子を使ったセンシングで圧力を計測し、電気信号に変換し出力します。絶対圧と大気圧を基準とするもの(負圧または正圧)、任意の圧力を基準とするもの(差圧)があります。測定対象(液体、気体、可燃性、腐食性)によってセンサを使い分けます。


圧力センサの分類


圧力センサは大別して二種類あります。


ピエゾ抵抗拡散圧力センサ‐ダイヤフラムの表面に半導体ひずみゲージを形成していて、外部からの力(圧力)によってダイヤフラムが変形して発生するピエゾ抵抗効果による電気抵抗の変化を電気信号に変換しています。


静電容量型圧力センサ‐ガラスの固定極とシリコンの可動極を対向させてコンデンサを形成、外部からの力(圧力)によって可動極が変形して発生する静電容量の変化を電気信号に変換しています。

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