流量センサ

流量センサとは、液体や気体などの流体が単位時間に流れる量を測定するために使用するセンサです。また、「流量計」とも呼ばれます。

流量センサの検出方式

流量センサの検出方式は、体積で検出する体積流量方式と、質量で検出する質量流量方式に分けられます。特にFA業界で使用される気体用流量センサは、質量流量方式が主流となっており、質量流量方式にはさらに熱式、コリオリ式、渦式の3つの方式に大別されます。

熱式流量センサ - 発熱体から流体が奪う熱の量で流量を測定する流量計です。

• コリオリ式流量センサ - 物理現象であるコリオリの力を利用した流量計です。コリオリの力は、物体の質量と速度に比例するので、パイプのねじれ量を測れば質量流量が分かります。


• 渦式流量センサ - カルマン渦を測定することによって流量を算出する流量計です。

その他にも、電磁式流量センサや超音波式流量センサなど、さまざまな流量センサが存在します。適切な流量センサを選定しないと、正確な流量を測定できないだけでなく、流量の過小評価は流路の破裂などにも繋がるため、流量センサを購入する際には、測定する流体の特性や設置場所などに応じて適したセンサを選ぶ必要があります。

流量センサの使用用途

流量センサは、ガスの流れを測定したり、パイプ内を流れる水の流量を監視・調査したりするなど、身近なところで幅広く活用されています。また、水や空気などに限らず、半導体製造現場で使用されるエッチングガスなど、特殊なガスに対応した流量センサも存在します。