マスフローコントローラ
マスフローコントローラとは？
マスフローコントローラは、流体の体積または質量流量を測定して流量を制御する制御機器です。主に流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成されています。精度が高く、様々なガスに対応し必要な流量設定を行うことができるため、化学工場、半導体工場、宇宙関係など、幅広い分野で使用されています。
フローコントローラの種類
マスフローコントローラは、通常、次の2種類に分類されます。
- 体積流量計-計測対象となる流体が温度や圧力の変化により、体積変化が生じ、正確な流量を計測する場合は変化量に合った補正を行う必要があります。
- 質量流量計-流体の質量を計測する事により、使用条件の変化による補正を行う必要がありません。さまざまな環境において有効性が高く、多くの産業で不可欠な装置として使われています。
RSでは、次のようなさまざまなフローコントローラの種類を用意しています。